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1. 中国四氟化碳市场预测与发展战略报告（2026版）

四氟化碳（CF4）又称四氟甲烷，其高纯气及其配高纯氧气的混合气， 是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。全氟烷的生产及供应主要集中在几家大的国外公司中， 如美

/huaxuegongye/yuanyouchanpin/2016-09-23/7222.html - 2026-04-18 - 化学助剂