内容简介:难熔金属钨由于具有电子迁移抗力高、高温稳定性好以及电子发射系数非常高等优点,在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用,如高纯钨及钨合金作为溅射镀膜材料 |
/gongyecailiaozhipin/xincailiao/2024-12-04/18709.html - 2024-12-04 - 新材料 |
内容简介:半导体用高纯钨及钨合金靶材是通过溅射法制备薄膜材料的基础原材料,其性能的好坏直接影响到溅射薄膜的最终性能,这对靶材的纯度、致密度、晶粒组织及其均匀性等方面都 |
/qitahangye/nengyuangkuangchang/2024-01-09/18345.html - 2024-11-02 - 能源矿产 |